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Ultra Pure Water Process

HIGH PURITY AT ITS BEST – ULTRA PURE WATER

Die Herstellung von Halbleiterprodukten und sensitiven Microbauteilen für Optik, Solar und anderen Einsatzzwecken erfordern je nach Oberflächenbeschaffenheit, Endprodukt und Prozessschritt unterschiedlichste Wasserqualitäten. Am Ende aber steht immer ULTRA PURE PROCESS WATER: ultra niedrigste Konzentrationen von gelösten Ionen (≥ 18,2 MegOhm), low TOC (< 0,5 ppb), Partikelfreiheit (< 0,05 µm) sowie Kationen und Anionen im untersten ppt-Bereich (< 5 ppt).

Ultra Pure Water Anlage
Reinstwasseranlage für die Herstellung von Halbleiterprodukten und sensitiven Microbauteilen für Optik, Solar

JUST PURE – JUST SAVE

Wir nutzen mit unserem hohen Engineering- Know-How eine breite Palette für eine optimale Kombination verschiedenster Verfahrenstechniken. Seit mehr als 40 Jahren realisieren wir HIGH PURITY – Polishersysteme in applikationsgerechter und kundenspezifischer Ausführung bis zu einer Leistung von 20 m3/h.

Die Polisher dieser UPW-Anlagen, mit einem Volumen bis 600 l, werden ausschließlich mit hochwertigen Semiconductor-grade Reinstharzen befüllt. Zusätzliche Scavenger mit TOC-Adsorber sichern niedrigste organische Bestandteile im Reinstwasser, die durch eine zusätzliche UV-Oxidation bis auf < 0,5 ppb TOC reduziert werden können. Ebenso werden Werkstoffe und medienberührenden Materialien individuell auf kundenspezifische Anforderungen abgestimmt: Basic-Systems mit PP-Piping oder Advanced-Systems in PVDF-HP-Piping (IR Plus® oder WNF®).

Modulare Baugruppen von 5-330 l/min für HIGH PURITY – Erzeugeranlagen

Aufbau mit Polishing, Mikrofiltration, Ultrafiltration, UV-Desinfektion und TOC-Oxidation

Entgasung zur Sauerstoffreduktion

Minimale Partikelkonzentration im Submicronbereich

Ausführung als Package Unit oder in Bausteinen

Je nach Kundenspezifikation komplett mit Vorbehandlung RO-EDI

Optionale modulare Ausbaufähigkeit

Reclaim-Einheit zur Wasser-Wiedergewinnung

Realisierung höchster Ausbeuten zur Ressourcengewinnung

Steuerung mit Siemens S7-1200/1500 und ET200-SP mit Basis HMI oder IPC

Ein Lager- und Verteilsystem adaptieren wir mit entsprechendem Messequipment und Prozessüberwachung und vervollständigen komplexe HIGH PURITY – Lösungen für Ihre sensitiven und prozesssicheren Reinstwasser-Anwendungen.

Energy (Power to X)

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